星空体育网站入口嘉兴驭光光电取得微纳光学器件制造方法专利实现不同微纳结构的构造制作

  星空体育官网金融界 2024 年 8 月 30 日消息,天眼查知识产权信息显示,嘉兴驭光光电科技有限公司取得一项名为“微纳光学器件制造方法“,授权公告号 CN112731774B,申请日期为 2020 年 12 月。

  专利摘要显示,本申请公开了一种微纳光学器件制造方法星空体育网站入口,该方法包括:利用半导体光刻和刻蚀工艺在晶圆上形成第一微纳结构;在晶圆上涂敷光刻胶;将第一区域中的光刻胶完全移除星空体育网站入口,以露出至少部分第一微纳结构星空体育网站入口,并对第二区域中的光刻胶进行灰度曝光星空体育网站入口,以在第二区域的光刻胶上形成第二微纳结构;以及将第一和第二微纳结构转印到待加工材料的表面上。根据本发明实施例,通过在已经经过半导体光刻刻蚀工艺处理的晶圆上涂覆灰度曝光用的光刻胶并选择性地进行部分区域的完全除胶和部分区域的灰度曝光,在一个统一的制作流程中融合了两种不同的微纳结构制作工艺;相应地,可以实现不同的微纳结构的构造制作。

  特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

  纵览热点|深圳街头众多市民捡拾“金豆”?街道办回应:不是“金豆”,系非黄金材质的饰品

  ESG Weekly八部门:探索建立长江经济带重点行业企业和个人碳账户 国家市监总局宣布阿里整改完成

  硬科技投向标上海市经信委:支持临港率先推动自动驾驶等领域垂类大模型落地应用 北京具身智能机器人创新中心将开启首轮对外融资

  红米K70至尊版再进化:获推澎湃OS1.0.25.0内测版,你收到了吗?

  骁龙8 Gen4与天玑9400:工程样机测试参数出炉,深度解析后谁更强

  腾达 A33 AX3000 信号放大器开售:支持 Wi-Fi 6、双天线 元

  积核海外推出 GT1 Mega 迷你主机:搭酷睿 Ultra 7/9、双2.5G网口

  九阳不锈钢煮蛋器 ZD14-GE320B 上市:双层容量,售 129 元

  Meta 正式停止支持初代 Quest VR 头显星空体育网站入口,不再提供安全更新和修复

  教师节贺卡我这次选了3D立体的,还是很有新意的。一年一次嘛,老师收到也开心

 

TEL

400-123-4567
138-0000-0000