BOB半岛光迅科技申请雪崩光电二极管专利可以降低电容提高带宽

  BOB半岛金融界2023年11月24日消息,据国家知识产权局公告BOB半岛,武汉光迅科技股份有限公司申请一项名为“一种雪崩光电二极管及其制作方法“,公开号CN117117012A,申请日期为2022年5月。

  专利摘要显示,本发明涉及芯片制造技术领域,尤其涉及一种雪崩光电二极管及其制作方法,该雪崩光电二极管在半绝缘衬底上至少堆叠有P型接触层BOB半岛、基础功能层以及N型接触层,基础功能层和N型接触层之间还设置有N型电场控制层和I型边缘电场缓冲层BOB半岛,其中,半绝缘衬底与P型接触层的侧周形成第一台阶,P型接触层与基础功能层的侧周形成第二台阶,基础功能层、N型电场控制层和I型边缘电场缓冲层的侧周依次覆盖有第一钝化层、第二钝化层、第三钝化层。本发明可以降低电容,提高带宽。另外,在工艺上,可以解决腐蚀过程中钻蚀的问题,可以提高整个芯片的可靠性。

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